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北京市（东城区、西城区、崇文区、宣武区、朝阳区、丰台区、石景山区、海淀区、门头沟区 昌平区、大兴区）
天津市（和平区、河东区、河西区、南开区、河北区、红桥区、塘沽区、东丽区、西青区、）
石家庄市（桥东区、长安区、裕华区、桥西区、新华区。）
保定市（莲池区、竞秀区） 廊坊市（安次区、广阳区，固安）
太原市（迎泽区，万柏林区，杏花岭区，小店区，尖草坪区。）
大同市（城区、南郊区、新荣区）
榆林市（榆阳区,横山区）朝阳市（双塔区、龙城区）
南京市（鼓楼区、玄武区、建邺区、秦淮区、栖霞区、雨花台区、浦口区、区、江宁区、溧水区、高淳区） 成都市（锡山区，惠山区，新区，滨湖区，北塘区，南长区，崇安区。）
常州市（天宁区、钟楼区、新北区、武进区）
苏州市（吴中区、相城区、姑苏区（原平江区、沧浪区、金阊区）、工业园区、高新区（虎丘区）、吴江区，原吴江市）
常熟市（方塔管理区、虹桥管理区、琴湖管理区、兴福管理区、谢桥管理区、大义管理区、莫城管理区。）宿迁(宿豫区、宿城区、湖滨新区、洋河新区。)
徐州（云龙区，鼓楼区，金山桥，泉山区，铜山区。）
南通市（崇川区，港闸区，开发区，海门区，海安市。）
昆山市 （玉山镇、巴城镇、周市镇、陆家镇、花桥镇（花桥经济开发区）、张浦镇、千灯镇。）
太仓市(城厢镇、金浪镇、沙溪镇、璜泾镇、浏河镇、浏家港镇；)
镇江市 (京口区、润州区、丹徒区。)
张家港市（杨舍镇，塘桥镇，金港镇，锦丰镇，乐余镇，凤凰镇，南丰镇，大新镇）
扬州市（广陵区、邗江区、江都区.宝应县）
宁波市（海曙区、江东区、江北区、北仑区、镇海区，慈溪，余姚 ）
温州市（鹿城区、龙湾区、瓯海区、洞头区）
嘉兴市（南湖区、秀洲区，桐乡。）
绍兴市（越城区、柯桥区、上虞区）
金华市（金东区，义乌）
舟山市（定海区、普陀区）
台州市（椒江区、黄岩区、路桥区）
湖州市 (吴兴区，织里，南浔区)
合肥市（瑶海区、庐阳区、蜀山区、包河
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科技日报北京3月27日电 (记者刘园园)记者27日从西湖大学获悉，由该校孵化的西湖仪器(杭州)技术有限公司(以下简称“西湖仪器”)成功开发出12英寸碳化硅衬底自动化激光剥离技术，解决了12英寸及以上超大尺寸碳化硅衬底切片难题。 与传统的硅材料相比，碳化硅具有更宽的禁带能隙以及更高的熔点、电子迁移率和热导率，可在高温、高电压条件下稳定工作，已成为新能源和半导体产业迭代升级的关键材料。 “目前，碳化硅衬底材料成本居高不下，严重阻碍了碳化硅器件的大规模应用。”西湖大学工学院讲席教授仇旻介绍，碳化硅行业降本增效的重要途径之一，是制造更大尺寸的碳化硅衬底材料。与6英寸和8英寸衬底相比，12英寸碳化硅衬底材料扩大了单片晶圆上可用于芯片制造的面积，在同等生产条件下，可显著提升芯片产量，同时降低单位芯片制造成本。 据国际权威研究机构预测，到2027年，全球碳化硅功率器件市场规模将达67亿美元，年复合增长率达33.5%。去年底，国内企业披露了最新一代12英寸碳化硅衬底。12英寸及以上超大尺寸碳化硅衬底切片需求随之出现。 此前，西湖仪器已率先推出8英寸导电型碳化硅衬底激光剥离设备。为响应最新市场需求，西湖仪器迅速推出超大尺寸碳化硅衬底激光剥离技术，将超快激光加工技术应用于碳化硅衬底加工行业，完成了相关设备和集成系统的开发。 “该技术实现了碳化硅晶锭减薄、激光加工、衬底剥离等过程的自动化。”仇旻介绍，与传统切割技术相比，激光剥离过程无材料损耗，原料损耗大幅下降。 仇旻说，新技术可大幅缩短衬底出片时间，适用于未来超大尺寸碳化硅衬底的规模化量产，进一步促进行业降本增效。
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